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愛發科干式真空泵PKS-070用于分析儀器以及半導體生產和等離子清洗等潔凈制程
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更新時間：2025-10-10
產品產地：日本
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愛發科干式真空泵PKS-070
不良現象及原因分析
1、不良現象：真空泵運行過載報警。
2、原因分析：
經對真空泵進行拆解， 發現以下幾個問題點：
不良現象 原因分析
（1）轉子軸套部磨損：
因軸承磨損導致轉子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。
（2）泵內齒輪箱內積碳：
因泵軸承損壞，轉子軸套與端蓋中間磨擦導致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。
（3）軸承磨損：
因軸承潤滑脂失效，軸承干性旋轉導致軸承滾珠在軸承內干磨。
(4)軸封磨損:
因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。
(5)軸套磨損:
因高溫運行，軸封密封部硬化，與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。
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愛發科干式真空泵PKS-070
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