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ULVAC干式真空泵NRL180A卡死維修：低噪音、低振動、*的耐腐蝕性。標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
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更新時間：2025-10-10
產品產地：日本
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ULVAC干式真空泵NRL180A卡死維修
愛發科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處
理、液晶注入等），排出非活性氣體行業對泵的腐蝕性很大，大多數真空泵都是因為腐
蝕后轉數慢，影響到生產效率，需要專業的廠家維修，東莞比其爾真空承接愛發科
NRL180A干式螺桿真空泵維修。
針對真空泵腐蝕的修復方法：
*清除表面氧化層，用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護，專業
的安裝方式完工。
愛發科NRL系列在低溫領域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮
短非氣時間的重要工藝腔體的排氣。
愛發科真空泵NRL180A特點：
低噪音、低振動、*的耐腐蝕性。
標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時泵
體內部的腐蝕程度。
隨泵配送選購件：
可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
適用于行業：
活性氣體（CVD/刻蝕等）
排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）
用于產生粉塵工藝中的排氣（Si單品爐等）
可用前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）
冷凍干燥等水蒸氣排氣。
真空泵維修流程安排：
*、初步了解真空泵現狀
服務：如有需要，會在24小時內派出專業技術人員趕赴現場確認真空泵故障。
第二、確定真空泵故障原因
服務：真空泵確認了解故障原因后，擬定出具體維修方案與周期、甲乙雙方簽定協議
后，珠三角地區甲方安
排人員上門提泵，其他區域客戶可以選擇物理快遞。
第三、真空泵拆開報價
服務：為了讓客戶更清晰的知道維修費用，比其爾會給出詳細的維修清單及費用明細
第四、確認真空泵維修
服務：客戶同意維修費用后開始維修，維修后所換配件全部還客戶。
第五、真空泵維修完畢后試機，一般測試時間是24小時。
服務：確保維修過后達到的真空度和穩定性能，真空度達到出廠標準。
第六、配送真空泵上門安裝調試
服務：在試機OK后24小時內，客戶可當初驗收真空泵，看試機運轉效果。
第七、統一質保修六個月，定期回訪、并提供免費技術支持。
服務：東莞比其爾維修過的每臺真空泵都會記入檔案，我們會定期根據后期使用情況做
出回訪工作。
ULVAC干式真空泵NRL180A卡死維修
地址：廣東省東莞市寮步鎮坑口紅荔路179號
電話：0769-8321-6362
郵箱：rmt@bqezkb.com
傳真：0769-8287-6360
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